电子特气的概念

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电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。

根据中研普华产业研究院发布的《2021-2026年电子特气行业市场深度分析及发展策略研究报告》显示：

国内的超高纯度净化技术主要依赖进口，自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂，对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列，50多种电子特气进行末端净化，使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级，并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小，从而极大地改善工艺能力，降低产品缺陷， 提高制程的产量，满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术，解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

集成电路是电子特气主要下游应用，晶圆产能2021年已达16%，预计到2024年将达19%，产业链逐步向国内转移。据统计，2021-2022年全球共新增晶圆厂29座，其中中国大陆新增8座，占比达到27.59%。

电子特气行业市场现状分析

数据显示，2021年，电子特气在集成电路中的应用占比达43%，其次为显示面板，占比21%，LED和光伏分别占比13%，6%，主要应用环节包括离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等。2021年全球电子特气市场规模达46亿美元，预计未来行业将保持在5%左右的增速，市场规模在2024年达到54亿美元。

在气体纯化环节，国产企业已能够将部分电子特气实现9N(99.9999999%)级别的纯度;在气体混配环节，国产企业可使配气误差达到±2%以内;在气瓶处理环节，国产企业可使粗糙度达到0.2μm以下;在气体分析检测环节，国产企业对多种气体的检测精度可达0.1ppb。国产气体企业已在部分特种气体上拥有自主核心技术，为推进电子特气国产替代打下了工艺基础。

“十四五”期间，中国工业气体、集成电路产能分布密集的东部地区基于自身区域产业发展提出相应的电子特气行业发展规划，其中如广东、辽宁等地基于优势城市、区域产业群加大技术投入，拓展包括电子特气在内的工业气体版图;江苏、浙江等集成电路产能密集省份则基于区域相关产业发展方向，有针对性地发展相应电子特气产业，提升集成电路产业化程度。

根据数据显示，2017-2021年，中国特种气体市场规模从175亿元增至342亿元，年复合增速达18%。预计到2026年中国特种气体行业的市场规模将达到808亿元，2021-2026年复合增长率为18.76%。

中国电子特气2021年市场规模为167亿元，预计2024年我国电子特气市场规模将达到230亿元，2020-2024年复合增速将达11.28%，增速高于全球。我国电子特气市场主要由早期进入市场的国外厂商垄断，2020年CR4达86%。目前国内电子特气第一梯队的厂商已经具备规模生产能力，在细分领域产品具有一定优势。

国产企业加速扩产迎接需求释放，国产化率有望从2020年的14.2%提升至2025年的25%。目前全球及国内的电子特气市场被四家海外气体巨头垄断，2020年国产化率仅14.2%，随着国产企业突破技术、客户、服务三大壁垒，叠加俄乌冲突导致稀有气体供应短缺的催化，电子特气国产替代需求强烈。

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